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真空平行光管是一種在真空環(huán)境中工作的高精度光學(xué)測(cè)試設(shè)備，通過將光學(xué)系統(tǒng)置于10?3~10???Pa的真空艙體內(nèi)，徹底消除大氣折射、熱湍流和塵埃干擾。其核心采用反射式設(shè)計(jì)（如離軸拋物面鏡或R-C系統(tǒng)），配合精密溫控（±0.1℃）可實(shí)現(xiàn)λ/20（@632.8nm）以上的波前精度和角秒級(jí)準(zhǔn)直性，專門用于空間望遠(yuǎn)鏡在軌標(biāo)定、極紫外光刻機(jī)光學(xué)檢測(cè)等對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，是航天光學(xué)和尖端微納制造的關(guān)鍵測(cè)試裝備。
